技术编号:15204687
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请要求于2015年10月23日提交的美国专利申请号:62\/245,421的优先权,其教导为了所有目的在此通过引入被并入。关于在联邦政府资助的研究和开发下进行的发明的权利的声明背景1.技术领域本发明的实施方案一般涉及包括聚对二甲苯的聚合物的气相沉积,以制造在聚对二甲苯的情况下比1微米薄的薄聚合物膜。2.相关技术的描述聚对二甲苯是用于一系列聚(对二甲苯)聚合物的成员的通用名称。已知聚对二甲苯聚合物作为无毒的电介质和水蒸气屏障表现出色。聚对二甲苯在20世纪60年代被商业化后,已经在电子、汽车、航...
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