技术编号:15219509
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及湿式制程设备领域,尤其涉及一种晶粒批量自动化湿式制程处理系统及其载具。背景技术半导体是指一种导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料,无论从科技或是经济发展角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的,为了满足量产上的需求,半导体的电性必须是可预测并且稳定的,因此包括掺杂物的纯度以及半导体晶格结构的品质都必须严格要求。常见的品质问题包括晶格的错位、双晶面,或是堆栈错误都会影响半导体材料的特性。对于一个半导体而言,材料晶格的缺陷通常是影响元件性能的主因。湿式制程机台在封装、光伏、面板产业...
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