技术编号:15219552
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明总的发明概念涉及半导体器件,更具体地,涉及垂直型存储器件。背景技术为了实现较高的性能和较低的成本,对提高半导体器件的密度存在持续的需求。尤其地,半导体器件的密度是产品定价的重要决定因素。因为传统二维半导体存储器件的密度主要由单位存储单元占据的面积决定,所以该密度受到精细构图技术水平的显著影响。然而,需要超高成本的设备来实现这样的精细图案。因此,在提高二维半导体存储器件的密度方面依然存在限制。发明内容在一个实施方式中,一种半导体器件包括:多个垂直堆叠存储单元串、位线、以及互连,所述互...
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