技术编号:15229422
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及蚀刻行业,具体是一种蚀刻液浓度调整方法。背景技术当前蚀刻行业中所使用的蚀刻液大多是多种质物的混合液。蚀刻过程中随时间推移,蚀刻液中的某些物质浓度会下不同程度的下降,并最终导致蚀刻率下降。当蚀刻率下降到一定程度时,蚀刻液就不能再使用了。蚀刻液本身的特性就是高腐蚀性,甚至是剧毒的,使用后的蚀刻液不能直排放,否则会造成严重的污染。目前对使用后的蚀刻液处理方法一般有两种,一种是送到专业处理厂进行无害化处理,另一种是由专业化学品供应厂回收,以上两种都会产生额处的费用,增加了企业成本。为了降低企业...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。