技术编号：15262991
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体传感器领域，具体涉及一种硅基结构的微热板及其制备方法。背景技术工业的迅速发展在带来可观利益的同时，也对环境造成了污染。工厂排放的有害有毒气体时刻在危害着生态环境和人类的健康。在个人家庭中，易燃、易爆气体同样存在着威胁。气敏传感器是一种电子鼻，它能够检测到空气中的有毒有害气体，并将检测到的气体成分和浓度转换成电信号。广泛应用于化工、环境检测、防灾报警等方面。近年来，微电子机械系统(MEMS)技术得到大力的发展。在传感器上应用MEMS技术，是目前国内外的研究热点。微结构的气敏传感器相...
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