技术编号：15262994
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明设计模具制备技术领域，具体设计一种微纳模具型槽的制备方法。背景技术随着模具器件向微纳方向发展，常用的模具钢已经远远达不到要求。在亚微米尺度，常规的加工工艺已经达不到此性能要求。对于激光刻蚀加工，10μm基本到达它的加工极限。但激光原理是热熔加工，边缘程锯齿状，粗糙度很大，满足不了此等尺寸下的模具型槽加工工艺。一些陶瓷材料如Al2O3、SiNx，具有极强的耐腐蚀性能，不能采用湿法腐蚀方法对其加工。在微纳尺寸里面，制备此类模具型槽的材料性能要求很高，要求强度、硬度大，耐磨性等强。SiC有优良的...
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