技术编号:15265179
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及掩膜板制造领域,具体地,涉及一种掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统。背景技术目前,制备高质量OLED屏的一种核心技术是采用高精密OLED掩膜板在玻璃基板上蒸镀R、G、B三原色的有机材料。蒸镀工艺使用的掩膜板的质量直接影响到OLED屏的质量,因此,掩膜板的结构和制作方法都很重要。现有的掩膜板包括框架、条状对位板和条状支撑板,其中,条状支撑板焊接在框架上,用于支撑条状掩膜板;条状对位板焊接在框架上,且与条状支撑板相互交叉,用于与玻璃基板进行对位。现有的掩膜板在实际应用中不可避免地存在以下问题,...
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