技术编号：15265180
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种硅基OLED微显示器的对位装置及应用该对位装置的制作系统。背景技术硅基OLED微显示器的功耗低、对比度高、响应速度快，可实现高PPI(pixels per inch)和高刷新频率，广泛应用于头盔显示、立体显示和便携式显示等高端消费VR/AR领域。硅基OLED微显示器的背板为单晶硅，具有电子迁移率高，集成电路CMOS制程良率高等诸多优点。传统玻璃基OLED器件在蒸镀过程中，蒸发源位于蒸镀腔室的底部，位于蒸镀腔室顶部的对位镜头通过抓取玻璃基底和掩膜板的对位点图案进行对位。因硅基背板为不...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。