一种两相分离微通道热沉的制作方法技术资料下载

技术编号:15277308

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本发明涉及高热流密度电子设备领域,具体是一种用于高热流密度电子器件的两相分离微通道热沉。背景技术随着微电子产业的迅速发展,晶体管的特征尺寸不断减小,集成度大大提高,电子芯片单位面积热流密度也随之不断增加,高速电子器件的热密度已达5~10MW/m2,散热已经成为其发展的主要“瓶颈”。微通道热沉以散热效率高、体积小、低热阻、低流量等优点在电子器件热管理方面得到了广泛研究与应用。一般微通道热沉中的微通道结构只有液体通道,电子器件产生的热量通过热界面材料传导至微通道热沉,微通道中的工作液体在微通道中发生...
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