技术编号:15289718
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种基板处理装置,更加详细地涉及一种基板处理装置,为了在被处理基板表面涂覆药液,在供给药液的过程中减少流入至药液的气泡的含量。背景技术在制造LCD等平板显示器的工艺中,伴随在由玻璃等制作的被处理基板的表面涂覆抗蚀剂等药液的涂覆工艺。尤其,最近涂覆于被处理基板的表面的药液的粘度逐渐变高,据此气泡的产生对药液涂覆质量产生的影响逐渐变大。在平板显示器的尺寸小的现有技术中,使用了如下旋转涂覆方法:在被处理基板的中央部涂覆药液的同时,使得被处理基板旋转,据此,在被处理基板的表面涂覆药液。但是...
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