技术编号：1530187
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及向半导体晶片、液晶显示装置用玻璃基板等薄板状的精密电子基板(以下，仅称为“基板”)供给处理液的基板处理装置的。背景技术以往，在基板的制造エ序中使用如下的基板处理装置，在进行使用药液的药液处理以及使用纯水的冲洗处理等基板的表面处理之后进行干燥处理。这样的基板处理装置包括ー张张地处理基板的单张式的装置和一起处理多张基板的批次式的装置。在单张式的基板处理装置中，通常，在进行向旋转的基板的表面供给药液的药液处理和供给纯水的纯水冲洗处理之后，使基板高速旋转...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。