制造针对可见光谱波长的电介质超颖表面的原子层沉积处理的制作方法技术资料下载

技术编号:15306398

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本申请要求于2015年11月24日提交的美国临时专利申请62/259,243号的权益和优先权,通过引用将其全部内容合并至此。关于联邦资助或研究发展的声明本发明在由空军科学研究处(MURI)授予的准许号FA9550-14-1-0389下由政府支持进行。政府具有本发明中某些权利。背景技术超颖表面(metasurface)可以用来形成光学部件。然而,超颖表面在可见光谱中低效。期望制造在可见光谱中具有提高的效率的超颖表面。针对这一背景,出现开发在本公开内容中描述的实施例的需求。发明内容根据一些实施例在一...
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