技术编号：15306592
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及构成为例如MEMS(Micro Electro Mechanical Systems(微机电系统))器件的致动器(actuator)装置。背景技术作为MEMS器件，已知有一种致动器装置，其包括支撑部；可动部；以可动部可在规定的轴线周围摇动的方式使可动部在轴线上与支撑部连结的连结部；和设置于连结部和支撑部上的配线。在这样的致动器装置中，存在例如可动部以其共振频率水平(数kHz～数十kHz)高速地摇动的情况。在这样的情况下，配线在连结部上引起金属疲劳，存在涉及特性的劣化、断线等的担忧。为了...
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