自对准到具有侧壁电介质的场释放氧化物的漂移区注入的制作方法技术资料下载

技术编号:15308491

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明大体涉及集成电路,并且更具体地涉及集成电路中的场效应晶体管。背景技术一些集成电路包含具有漂移区的场效应晶体管(FET)以使其能够进行较高电压操作。随着这些集成电路被缩放以用于下一代产品,存在的一个需求是增加这些FET的开关频率以减小外部无源部件(诸如电感器)的尺寸,同时保持这些FET中的低功耗。这需要同时减小FET的开关寄生效应和开态比电阻(面积归一化的开态电阻)。为了能够在升高的漏极电压下进行操作,FET采用在高漏极电压条件下耗尽的漂移区,从而允许FET在开态期间阻断电压并同时支持传导。...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

详细技术文档下载地址↓↓

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
该分类下的技术专家--如需求助专家,请联系客服
  • 贺老师:氮化物陶瓷、光功能晶体材料及燃烧合成制备科学及工程应用
  • 杨老师:工程电磁场与磁技术,无线电能传输技术
  • 许老师:1.气动光学成像用于精确制导 2.人工智能方法用于数据处理、预测 3.故障诊断和健康管理
  • 王老师:智能控制理论及应用;机器人控制技术
  • 李老师:1.自旋电子学 2.铁磁共振、电磁场理论
  • 宁老师:1.固体物理 2.半导体照明光源光学设计实践 3.半导体器件封装实践
  • 杨老师:1.大型电力变压器内绝缘老化机理及寿命预测 2.局部放电在线监测及模式识别 3.电力设备在线监测及故障诊断 4.绝缘材料的改性技术及新型绝缘材料的研究
  • 王老师:1.无线电能传输技术 2.大功率电力电子变换及其控制技术