技术编号:1531012
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及ー种紫外线照射装置。背景技术以往,为了使基板等エ件表面清洁化,使用对エ件的表面照射紫外线而使表面上的有机物氧化分解的紫外线照射装置。其中,从紫外线灯射出的例如波长172nm的紫外线被气氛中的氧分子吸收。具体而言,波长172nm的紫外线在大气中仅行进2mm即衰减为30% 40%程度。因此,如专利 文献I或专利文献2等所示,在收容紫外线灯的壳体(灯室)内充满例如氮(N2)气等惰性气体,且在紫外线灯与エ件之间充满惰性气体。通过如此将紫外线灯的周围气氛由...
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