防断电保护的硅片清洗机的制作方法技术资料下载

技术编号:1532279

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本发明涉及半导体清洗,特别涉及一种防断电保护的硅片清洗机。背景技术在半导体行业,需要对硅片后道エ艺铜互连阶段后,多孔性介质材料进行超精细清洗,Chuck (卡盘)夹持的硅片高速旋转进行清洗时在エ艺腔室内完成,清洗包括药液漂洗、超纯水冲洗和凡甩干等エ艺。在清洗的过程为了实现对化学药液的回收利用,エ艺腔室采用分层设计,Up/down单元带动Chuck至各エ艺位置,由伺服电机带动Chuck做高速旋转运动,通过离心カ将化学药液甩到专用的回收槽里面。为了防止化学液向...
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