技术编号:15333375
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及特殊气体供应设备技术领域,尤其涉及一种气体供应系统。背景技术在半导体、光伏相关产业中需要用到许多特殊气体,如硅烷,有毒、可燃,危害性相当大。这些特殊气体在使用过程中为钢瓶包装,在工厂运转过程中需要不断更换新的气体钢瓶,拆除在线的空钢瓶,我们称之为钢瓶更换流程。在钢瓶更换结束后,需要采用高纯氮气进行吹扫,以清除换瓶过程中有可能带入气体管路中的空气、水分和微小的颗粒,避免对气体管路和钢瓶造成污染,影响产品的质量。因此,在上述特殊气体供应系统中有必要设置气体吹扫系统,现有的气体吹扫系统在...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。