技术编号:15333383
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及液相工作介质供应技术领域,尤其涉及一种液相工作介质供应系统。背景技术由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展,及我国政府大力提倡科技兴国,国内半导体、光伏制造业发展迅猛。在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要用到以液态存在的工作介质,工作介质在使用时位于钢瓶中,常用的方法是对钢瓶加热将工作介质以液态转化为气态,以气态进行输送,但是在输送过程中当热量补充不足会出现工作介质以气液混合态存在,流通速度比较慢,输送的流量小,无法满足多台设备同时使用。实用新型内容为了解决现有液相工作介质采用加热方式...
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