技术编号:15340748
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光谱探测领域,尤其涉及一种光谱测量装置及系统。背景技术对于具有多层薄膜结构的待测量样品,在光谱测量过程中,是通过将测量光照射在待测量样品的任一层薄膜表面进行检测,由于测量光具有一定的发散性,且受环境因素影响,使测量过程中无法区分该薄膜表面与待测量样品其他表面反射或者透射的光,导致测试数据无法准确反映该薄膜表面的反射率、透射率数据或光能量数据。为解决该技术问题,出现了高分辨率的空间结构设计(如高倍显微镜等),虽然可以解决上述的问题,但成本较高。实用新型内容基于此,有必要提供一种准确反...
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