技术编号：15344070
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及显示面板生产技术领域，尤其涉及一种降低线性电机移动污染的装置。背景技术在面板(TFT/AMOLED)制程往高分辨率发展过程中，因像素被设计的愈来愈小，面板被制程设备产生的污染影响也愈来愈严重。在设备中，部件移动是不可避免的，要让这些大型部件准确精密的移动就需要线性电机，但部件在快速移动造成的风压、伴随的油污以及细粉屑是影响制程良率的一个主要因素。目前，部件在快速移动时，通常采取的措施是：在线性电机下方安装防油/尘盖或是在侧向安装盖板。但部件在快速移动时两侧的风压不平衡，风压过大会向...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。