技术编号：15347672
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及显示技术领域，具体涉及一种准分子激光退火腔室。背景技术随着显示技术的不断进步，有源矩阵有机发光二极管(Active-Matrix Organic Light Emitting Diode,AMOLED)面板也得到了快速发展。基于AMOLED面板，一种称为低温多晶硅(Low Temperature Poly-Silicon，LTPS)的技术在提高了显示面板亮度的同时，使得AMOLED面板的重量更轻，功耗也更低，已广泛应用于显示行业中。LTPS的制备可采用准分子激光退火(Excimer...
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