技术编号:15362354
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及表面声波器件的领域。其具体涉及适合于制造表面声波器件的混合结构体。背景技术诸如表面声波(SAW)器件等声学谐振器结构使用在压电衬底上制造的一个或多个叉指型换能器以将电信号转换成声波,反之亦然。这种SAW器件或谐振器通常用于滤波应用。射频(RF)SAW技术提供优异的性能,包括高水平的绝缘和低插入损耗。这就是将其用于无线通信应用中的RF双工器的原因。尽管如此,为了与基于体声波(BAW)技术的RF双工器相比更具竞争力,RF SAW器件的性能需要得到改进,特别是要求频率响应具有温度稳定性。SA...
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