转印方法、转印装置以及模具与流程技术资料下载

技术编号:15382613

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本申请涉及转印方法、转印装置以及模具,特别涉及使用遮蔽单元来进行转印的方案。背景技术作为以往例的转印装置,已知如下转印装置:在该转印装置中,将紫外线固化树脂设置于基板的表面,将形成有预定的转印图案的长的片状的模具卷绕于辊而使辊移动,将模具推压到基板,通过紫外线的照射使紫外线固化树脂固化,从而将模具的转印图案转印到紫外线固化树脂(参照JP 2014-040070 A)。发明内容在以往例的转印装置中,在将紫外线固化树脂推压到模具而转印的情况下,未固化的树脂在模具的周边溢出。特别在使辊移动而转印的情况...
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