基于温度的CMOS工艺器件抗辐射加固方法与流程技术资料下载

技术编号:15392373

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本发明涉及半导体器件抗辐射加固技术领域,具体涉及一种基于温度的CMOS工艺器件抗辐射加固方法,用于CMOS工艺器件抗总剂量的加固。背景技术工作在航天电子系统中的电子器件不可避免地遭受环境中粒子辐射的影响,从而造成电子器件性能退变,甚至功能失效,严重威胁着航天器工作的可靠性,因此电离总剂量效应是空间电子器件面临的重要问题。目前,空间电子器件抗总剂量的加固方法主要采用屏蔽加固和工艺加固两种方法,屏蔽加固方法通过对系统抗辐射性能弱的器件增加铅等屏蔽层,阻挡射线粒子对器件的辐照,但屏蔽加固对空间高能粒子...
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