一种集成Pt温度传感器的MEMS发热芯片的制作方法技术资料下载

技术编号:15406894

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本实用新型涉及电子烟技术领域,特别涉及一种集成Pt薄膜电阻温度传感器的MEMS电子烟发热芯片。背景技术多数市售电子烟采用发热丝为发热元件,在供电状态下,发热丝通过电热转化产生的高热量加热烟液使之雾化。由于发热丝本身的螺旋形结构及导油件在其上的缠绕方式,使得发热丝在工作时难免出现局部高温的现象。烟液成分、导油材质在电子烟过高的温度下会发生理化性质的变化,可能产生有害裂解产物;高温下,烟液中的一些香气成分会被破坏,影响吸味的丰富性;电子烟温度过高也会使雾化产生的烟气温度过高,可能对呼吸道造成损伤;在...
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