技术编号:15447421
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及抛光机领域,包括但不限于抛光机晶片保持器。背景技术抛光机使用晶片保持器来保持和支撑扁平晶片,诸如在电子工业中使用的硅晶片。对于允许生产具有改进的精度以及改进的使用寿命的晶片的晶片保持器存在需求。发明内容在一个实施例中,提供一种在抛光机中使用的晶片保持器。该晶片保持器包括由热固性材料和/或热塑性材料构成的框架。晶片保持器包括:框架,其具有至少一个空腔,该至少一个空腔能够接收和支撑从晶锭生长的、要在抛光机械中被抛光的晶片,聚合物膜垫被永久性地固定在至少一个空腔中。晶片保持器包括至少一个空腔...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。