技术编号：15448451
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电系统技术领域，特别涉及一种应用于微机电系统的压电驱动柔顺灵巧手。背景技术微机电系统(MEMS)技术是从传统的集成电路工艺基础上进化而来。随着微机电系统的发展，其产品功能多且不断集成化和复杂化，而且涉及不同的加工工艺、不同的制作材料以及复杂的结构外形，如微阀、微光学部件以及多功能微传感器，这些器件靠传统集成电路工艺是很难实现的。要实现结构复杂、功能多样的微机械系统，必须借助于微装配与微操作技术。为了能够高质量地完成微装配与微操作任务，需要开发速度快、精度高、重复性好以及可靠性高的微...
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