技术编号:15452054
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种存储器。背景技术存储器是半导体领域中的基础器件,通常包括衬底内的存储结构以及位线、字线等与读写操作相关的逻辑布线。芯片可以包含存储器,存储器的性能对芯片的良率有较大影响。现有的存储器的写干扰较大,性能有待提升。发明内容本发明解决的技术问题是减小存储器的写干扰。为解决上述技术问题,本发明实施例提供一种存储器,包括:半导体衬底;位线层,位于所述半导体衬底上,所述位线层内排布有位线;屏蔽层,位于所述位线层上,所述屏蔽层内设置有导电的屏蔽结构,所述屏蔽结构接地;字线...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。