技术编号：15453842
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种气压传感器及其封装方法，尤其涉及一种MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统)气压传感器的和气压传感器封装的方法。背景技术气压传感器在现代社会中发挥着越来越重要的作用，气压传感器市场的应用需求巨大。基于MEMS技术的气压传感器可以提高气压传感器性能以及降低成本因而成为被广泛研究、开发与使用的一类器件。MEMS气压传感器的精确度和可靠性依赖于气压传感器的封装过程。在基于MEMS技术的传感器封装的过程中，一方面需要外壳起到对芯片的保护作用，另...
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