技术编号：15456238
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种麦克风及其制作方法。背景技术麦克风是一种能把声音能量转化为电能的传感器件，电容式微型机电系统(Condenser MEMS)麦克风的原理就是通过声压引起振动模的振动，进而改变电容而引起电压的改变。当今，随着科技的发展与需求的不断增长，人们对Condenser MEMS麦克风的需求量也越来越多，特别是高信噪比的麦克风需求量在高速增长。一般而言，麦克风的封装根据进气的方式不同有两种模式，底部模式(bottom type)比顶部模式(top type)有更大的背...
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