技术编号：15456240
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电容式MEMS设备(MEMS，即微机电系统)、电容 式MEMS声换能器、制造电容式MEMS设备的方法以及操作电容式 MEMS设备的方法。一些实施例涉及MEMS麦克风和/或MEMS扬声 器。背景技术当设计电容式MEMS设备(例如，声换能器、压力传感器、加 速传感器、麦克风或扬声器)时，通常会期望实现换能器输出信号的 高信噪比(SNR)。对于期望的高信噪比，换能器的持续小型化会提 出新的挑战。MEMS麦克风以及一定程度上还有MEMS扬声器(例 如可用于麦克风、笔记本电脑和类似(移动或静止)...
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