技术编号:15456882
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及卷取式成膜装置以及卷取式成膜方法。背景技术在卷取式成膜装置中,具有一边从卷出辊对膜进行卷出,一边在该膜蒸镀金属后用卷取辊对膜进行卷取的装置。这种卷取式成膜装置被配置成在卷出辊和卷取辊的中途处金属蒸镀源与膜相向(例如,参照专利文献1)。并且,当从金属蒸镀源蒸发的金属附着于膜时,金属在膜上从气相状态变化为固相状态,在膜上形成固相状态的金属层。现有技术文献专利文献专利文献1:国际公开第2008/018297号公报。发明内容发明要解决的课题但是,当在膜上形成的金属层为锂层时,锂从气相状态变化为...
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