技术编号：15458621
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空泵领域，特别涉及一种滑阀真空泵。背景技术滑阀真空泵，是一种变容式气体传输泵，利用滑阀机构来改变吸气腔的容积，抽除一般性气体或含有少量可凝性蒸汽的气体的真空抽气设备之一，真空泵抽速对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽很敏感，滑阀式真空泵广泛用于航空航天、生物医药、真空冶金、真空焊接、真空热处理、真空干燥、医药化工、光电子、太阳能光伏等行业。真空泵按真空度可分为：低真空、中真空、高真空、超高真空四大类；在中高真空系列中滑阀真空泵可以单独使用，也可以作为罗茨真空泵，油增压泵、油扩散泵的前级泵的...
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