基板清洗装置及其方法技术资料下载

技术编号:1546044

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本发明涉及一种清洗分别位于玻璃基板等基板的侧缘部的表侧及背侧的清洗面的,所述玻璃基板等例如在液晶显示装置及等离子显示装置中使用。背景技术以往,在玻璃基板的制造中,如图13所示,在形成于玻璃基板51的侧缘部的多个电极52上安装有各种构件54。首先,如图13 (a)所示,清洗分别位于配置有电极52的玻璃基板51的侧缘部的表侧和背侧的清洗面(需要清洗的面)。然后,如图13(b)所示,在电极 52上贴附各向异性导电膜(ACF)53。并且,如图13(c)所示,隔着各...
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