技术编号：15460719
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学领域和微纳系统领域，具体为一种基于光学微球型谐振腔的湿度传感器。技术背景湿度作为较难检测又特别重要的环境参量之一，在气象预报、环境监测、农业生产、药品生产、半导体器件加工、食品储存、纺织、发电、航空航天、机车舰船等方面有着重要的应用。通常，湿度传感器应满足以下要求：快的响应速度、小的滞后；高可靠性、长寿命；较宽的温度范围、非常小的温度系数；互换性强、复性好；容易制作、价格低；能在具有腐蚀性的气体中工作等。然而，想要全面满足上述要求，实际上则非常困难。能准确、快速的测量湿度在人们的日...
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