技术编号：15460859
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及等离子技术领域，尤其涉及一种等离子体气体传感器及其制造方法。背景技术等离子体被称为物质的第四态，主要是由气体在能量注入的条件下发生正负离子(电子)的分离形成。作为能量注入的一种方式，当加载了较高的电压形成较强的电场时，不同种类、含量的气体高于特定的电场作用下才能发生气体放电并形成等离子体，从而表现为电路中的电流信号。因此，可根据不同气体条件下所需的不同的、特定的加载电压，即阈值电压，作为判断气体种类、含量等信息的传感信号，基于上述原理的设备被称为等离子体气体传感器。然而，传统的基于电场...
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