技术编号：15461391
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光栅的加工技术领域，更具体而言，涉及一种全息金光栅的加工装置及制备方法。背景技术光栅具有色散、分束、偏振和相位匹配等性质，已被广泛应用于光谱分析，光学测量和集成光学等应用领域。现在常用的光栅有反射光栅、透射光栅、闪耀光栅和全息光栅等几类。通常反射光栅、透射光栅和闪耀光栅为机刻光栅，全息光栅是利用光全息技术制作的光栅。相比机刻光栅，全息光栅不需要机械刻蚀，不存在刻线周期误差，消除了机刻光栅存在的鬼线和伴线误差。因此，全息光栅具有光栅线槽密度高，分辨本领大，杂散光小，加工成本低和加工周期相...
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