技术编号:15464356
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体集成电路领域,特别是涉及一种器件结构形成方法以及图像传感器形成方法。背景技术在半导体技术领域中,图像传感器是一种能将光学图像转换成电信号的半导体器件。图像传感器大体上可以分为电荷耦合元件(Charge Coupled Device,简称CCD)传感器和互补金属氧化物半导体图像传感器(CMOS Image Sensor,简称CIS)两种。CCD图像传感器的优点是图像敏感度较高、噪音小,但是CCD图像传感器与其他器件的集成比较困难,而且CCD图像传感器功耗较高。相比之下,CIS图像传...
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