技术编号：1547690
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光电器件制造工艺技术，具体指一种碲隔汞晶片溶剂溶液的自动化动 态清洗装置及方法。背景技术碲隔汞红外探测器在研制过程中步骤繁多，其工艺涉及到表面处理、介质膜、光 刻、P-N成结、腐蚀、金属电极、互连等一系列工艺，而且每道工艺都要进行溶剂溶液清洗过 程。碲隔汞是一种脆性半导体材料，对其晶片的拿取和溶剂溶液清洗的方式及其重要。传统 的操作方法用金属镊子夹取在溶剂溶液中通过超声波震荡方法或者手动晃荡方法来清洗。随着碲隔汞红外探测器研制的发展，特别是表面处...
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