技术编号：15483544
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及脱碳/脱氧技术领域，特别涉及一种基于膜接触器的超纯水脱碳/脱氧装置系统。背景技术电子、半导体、液晶显示、光伏等工业生产过程中，往往需要使用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。常用的超纯水制备工艺方法有三种：(1)离子交换、(2)两级反渗透、(3)高效反渗透加EDI(电除盐)。反渗透能够除去几乎所有的二价盐和一部分一价盐，剩余的盐由EDI除去；但反渗透无法脱除水中溶解态二氧化碳，这些二氧化碳在通过反渗透膜后又会发生部分电离，...
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