电子气毒腐类及可燃类全自动安全泄露侦测联动控制装置的制作方法技术资料下载

技术编号:15488980

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本实用新型涉及废气处理技术领域,尤其涉及一种电子气毒腐类及可燃类全自动安全泄露侦测联动控制装置。背景技术目前,特气在科研、生物医疗、IC半导体、光伏太阳能等高新产业的应用越来越广泛。除了常规惰性气体,一些易燃易爆气体,如氢气(H2)、乙炔(C2H2)、乙烯(C2H4)、硅烷(SiH4)和毒腐性气体,如:磷烷(PH3)、氯气(Cl2)、三氯化硼(BCl3)、氯化氢(HCl)等的使用也愈加频繁。这类气体由于自身特性在供应过程中如果产生泄露将给环境、操作人员造成极大的危害,甚至影响到生命安全。所以在供...
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