一种扩束准直光束的自动调校方法与流程技术资料下载

技术编号:15491251

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本发明涉及光学检测技术领域,具体涉及一种扩束准直光束的自动调校方法。背景技术激光光束具有一定发散角,光斑直径小,在宽口径的激光光路检测中,一般激光束的通过扩束准直系统形成与准直镜的对称轴平行的准直光束,该准直光束的准直度和光斑均匀性影响着激光的性能,因此准直光束的准直度和光斑均匀性是其光束性能评价的重要指标。激光束的扩束准直方法主要有以下几种调校方法:(1)夏克一哈特曼法:用一个透镜阵列对准直光束进行分割取样然后聚焦,根据焦斑的位置反求准直光束的波前分布。该方法适合测量小口径准直光束的波前分布,...
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