技术编号:15491938
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及FPD检测技术领域,具体涉及一种氙灯分色照明检测装置。背景技术在FPD检测领域中,由于基板上不同工艺会导致制程图案呈现颜色上的差异(简称膜色差异),检测设备如果采用同一种波长的光就会不适应该变化,导致错检或漏检。闪光氙灯由于其高亮度,高稳定性,长寿命和小体积等特点而广泛应用用工业检测中。其拥有较宽的光谱,当遇到上述膜色差异的制程图案后,不能有效得到最佳信噪比的图案,降低检出的遗漏以及错误率。氙灯可以产生极强的瞬时功率,获得极强的瞬时光输出,同时具有低功耗、体积小等优点,脉冲氙灯是一...
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