技术编号：15495757
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及准分子激光技术领域，特别涉及准分子激光器窗片的更换装置。背景技术准分子激光器是紫外波段重要的激光器件，依靠受激混合气体形成的分子向基态跃迁产生激光。混合气体一般是由惰性气体和卤素气体组成，如氩气(Ar)和氟气(F2)、氪气(Kr)和氟气、氙气(Xe)和氯气(Cl2)等。放电腔为气体放电提供了空间，它是由多种部件组成的，如电极、腔壁、风机、导流结构、散热器、窗片等。其中，窗片等属于易污染、易损耗零部件，使用一段时间后需要更换或是清洗。但是，准分子激光器的放电腔需要经特殊工艺处理后在密...
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