技术编号:15500366
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于环保技术领域,涉及一种用于单晶硅氩气回收系统中,拦截从单晶炉中被携带出的大量高温、粒径不一的固体颗粒,保护真空泵及氩气纯化装置正常运行的惰性气体净化装置。背景技术单晶硅生产过程中,一般均采用氩气作为单晶炉保护气,保护单晶硅成晶工艺的正常运行。出于经济型及环保需求的考虑,此氩气要求回收循环利用,但成晶工艺对氩气的纯度有较高要求,所以单晶炉排出的氩气必须经过净化提纯。目前行业内一般在单晶炉后设置真空过滤器,拦截单晶炉中被携带出的粉尘,保护后续提纯工艺的正常运行。其中核心过滤元件一般选用...
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