技术编号:15513942
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种废弃物回收再利用工艺,更具体地说,本发明涉及一种回收再利用氯硅烷渣浆液的工艺,属于多晶硅生产废弃物回收再利用技术领域。背景技术在多晶硅生产中,三氯氢硅还原生成多晶硅的同时,副产大量四氯化硅,每生产1吨多晶硅会产生近5吨的四氯化硅,反应方程式如下:4SiHCl3 + 2H2 → Si + SiCl4 + 2SiH2Cl2 + 4HCl四氯化硅通过冷氢化或氯氢化反应后,变成三氯氢硅再回去生产多晶硅。冷氢化反应方程式如下:3SiCl4 + 2H2 + Si(硅粉) → 4SiHCl3氯氢...
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