技术编号:15520065
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对基板进行处理的基板处理方法以及基板处理装置。作为处理对象的基板,例如包括半导体晶片、液晶显示装置用基板、等离子显示器用基板、FED(Field Emission Display:场致发射显示器)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩膜用基板、陶瓷基板、太阳能电池用基板等。背景技术在半导体装置或液晶显示装置等的制造工序中,使用对半导体晶片或液晶显示装置用玻璃基板等基板进行处理的基板处理装置。在日本2015-19024A中,公开了进行擦洗清洗的单张式的基板处理装置。刷体最初按...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。