技术编号:15524084
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及精密机械和现代控制技术领域,尤其涉及一种基于音圈电机的非接触式双轴倾斜控制装置。背景技术随着精密测量、精密机械的发展,如何减小安置设备和实验装置的水平平台的倾角至关重要。例如在激光精密干涉测量实验,100mrad(微弧度)量级的倾角变化就会对测量结果产生很大的影响。在工业生产中,微小的角度变化会使长基线加工和检测设备产生很大的偏差距离。目前的倾斜控制装置中的执行器件多采用接触式结构,如空气弹簧等。这些器件因为通过介质(如压缩空气)与水平平台接触,阻尼较大,振荡周期长回复缓慢、响应频...
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