用于对位移物进行控制和定位的电容式直线型或旋转型传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:1554

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本发明涉及一种电容式直线型或旋转型传感器,这种传感器通过测量移动物体的位移、角度或速度来控制移动的物体并将其定位。在本发明的一个实施例中,旋转型传感器由两个互相对置的限定出相对空间的定片构成,在这两个定片构成的间隙中有一可转动的动片,此动片可转动地与一个和移动物体耦联的轴相配合。两定片之一和动片之间构成第一气隙(测量气隙),另一定片和动片之间构成第二气隙(去耦气隙或平衡气隙),两个定片和动片互相对着的侧面上均有导电涂层,它们与其相应的气隙一起形成电容,其电容值随动片的转动而改变。这种性质的旋转型传感器在美国专利№....
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