技术编号:1555190
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种半导体行业外延钟罩清洗设备,尤其是涉及组合式钟 罩清洗机。 背景技术本组合钟罩清洗机是一种半导体行业必备的钟罩清洗设备,该设备适用于 世界上任何国家生产的多种外延炉管(石英钟罩)的腐蚀清洗,同时也可清洗其它 可放入清洗槽中的石英器皿等被清洗物。目前的钟罩清洗机分为立式、卧式两 类,为了工艺生产的需要清洗多种石英钟罩时,人们不得不同时购买符合多种 规格尺寸钟罩的清洗机,这大大增加了采购成本及日常使用成本。现有的钟罩 清洗机有如下缺陷1)只能...
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